Структура и принцип на работа на дифузен предавател за налягане на силиций

Структурен състав на дифузен предавател за налягане на силиций

Тъй като изходът на сензора за наляганеUPX19е нестандартен сигнал, в практически приложения, за да направи сензора универсален и да улесни предаването и записването на сигнала, сензорът се използва заедно със стандартна схема за входен сигнал за извеждане на стандартен сигнал. Сензорът, който извежда стандартния сигнал по това време, се нарича предавател на наляганетоUPB13.

Накратко, предавателят постепенно се развива от сензора. Изследваният в тази статия дифузен предавател за налягане на силиций е съставен главно от сензор MEMS, измервателна капсула, интерфейс и схема за обработка (интелигентна платка).

Сензорът за налягане и температурата на диода са опаковани в горната част на измервателната капсула, а корпусът на капсулата е закрепен от два уплътняващи фланца, за да образува измервателната част на трансмитера, която е отговорна за преобразуването на сигнала за налягане, който трябва да бъде измерен на работна площадка в сигнал за напрежение. В допълнение, електронна платка, хедър на дисплея с течни кристали и терминал за свързване представляват частта на дисплея, която е отговорна за преобразуването на изходния сигнал от напрежението от сензора в 4-20mA чрез усилване, след което извежда стандартен токов сигнал.

Принцип на работа на дифузен предавател за налягане на силиций

Въз основа на пиезорезистивния ефект на монокристалния силиций, еластичният компонент се изработва в определена посока върху силициевата пластина с усъвършенствана технология за микроелектромеханична обработка, а четири чувствителни на сила резистори с еднакво съпротивление се произвеждат чрез технология на интегралната схема в правилното положение, който се свързва с мост Уитстоун. Постоянното напрежение (ток) се прилага към моста и измереното налягане се предава към силиконовия чип чрез силиконовото масло, запечатано в измервателната капсула, без загуба, след което предавателят извежда сигнал за напрежение, линейно пропорционален на налягането, което трябва да бъде измерено, и след това сигналът от напрежението се усилва и преобразува в двупроводен стандартен сигнал чрез електронни вериги.

Да обобщим:

От неговия принцип на работа може да се знае, че сензорът за налягане е важна част от предавателя на наляганеUPB1, а основният източник на температурно отклонение на предавателя е температурното отклонение на силициевия сензор за налягане. Настоящото изследване на компенсацията на температурния дрейф на силициевите предаватели на налягане също е фокусирано главно върху частта от датчици за силициево налягане.

За подробности, моля свържете сеЦи Хуанг